氣體質(zhì)量流量計(jì)控制器的工作原理特征

流量計(jì)可以用于控制各種清潔干燥氣體，包括腐蝕性氣體和特殊氣體，但對(duì)于使用腐蝕性氣體和特殊氣體，需要恰當(dāng)選擇型號(hào)和密封材料。用戶在訂貨時(shí)，需要向供貨廠商特殊說明使用氣體，以免因?yàn)檫x型或選擇密封材料錯(cuò)誤，造成嚴(yán)重?fù)p失。通常質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的材質(zhì)為316L不銹鋼、密封材質(zhì)分為金屬焊接，聚四氟乙烯和普通氟橡膠。質(zhì)量流量控制器采用金屬焊接密封的MFC原則上可以用于任何氣體，包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對(duì)于三溴化硼、三氯化硼、氟化氫等強(qiáng)腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬焊接密封的MFC。

質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門和放大控制器等部分組成。質(zhì)量流量控制器傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補(bǔ)償)。將傳感器加熱電橋測(cè)得的流量信號(hào)送入放大器放大, 放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較, 再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源,數(shù)字電壓表, 設(shè)定電位器, 外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。

氣體質(zhì)量流量計(jì)控制器是一種無須溫度、壓力補(bǔ)償就能方便而且準(zhǔn)確地監(jiān)測(cè)在管道中流動(dòng)的各種氣體、熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是一種新型流量計(jì)量、監(jiān)控儀表。

氣體質(zhì)量流量計(jì)采用熱擴(kuò)散原理，熱擴(kuò)散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術(shù)。其典型傳感元件包括兩個(gè)熱電阻(鉑RTD)，一個(gè)是速度傳感器，一個(gè)是自動(dòng)補(bǔ)償氣體溫度變化的溫度傳感器。當(dāng)兩個(gè)RTD被置于介質(zhì)中時(shí)，其中速度傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的一個(gè)恒定的溫度，另一個(gè)溫度傳感器用于感應(yīng)介質(zhì)溫度。流經(jīng)速度傳感器的氣體質(zhì)量流量是通過傳感元件的熱傳遞量來計(jì)算的。氣體流速增加，介質(zhì)帶走的熱量增多。使傳感器溫度隨之降低。為了保持溫度的恒定，則必須增加通過質(zhì)量流量控制器的工作電流，此增加的部分電流大小與介質(zhì)的流速成正比。